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发表于 2006-08-28 19:09:22
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铜及铜合金表面精细蚀刻技术
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1 m- \) A+ W9 B- J申请专利号 CN94113369.9
3 p9 W/ i. h, ]5 Q, o9 _专利申请日 1994.12.28
# Q9 c9 v4 N: J4 c名称 铜及铜合金表面精细蚀刻技术
0 j* ?( N; {, Q4 T$ K公开(公告)号 CN1125782
% r# N! f3 f, [+ G公开(公告)日 1996.07.03
4 f7 z& J+ }/ L( k, o' ?" a类别 化学;冶金 3 l' @: p- X% y; m
颁证日 $ L" Q3 }& R$ ^$ P A z0 ?
优先权 , Y- c, L& U8 D D) j$ b% o
申请(专利权) 马志坚; 冯玉树 / z; w/ F9 B: O" k. G5 B% V; V1 \
地址 100020北京市朝外关东店三号楼西101号
% d& d/ c @% I4 S发明(设计)人 马志坚; 冯玉树 3 X$ o- P, L+ B; @9 y
国际申请
" H7 r4 a. P) T# ^' h国际公布
$ Q8 v3 }. C. T" W. \进入国家日期
9 o# P0 B7 K1 ?$ X专利代理机构 北京市机械工业专利事务所 , }, F1 q# c5 `! Y
代理人 耿玉棋
) ]2 r& ~9 ^1 K3 v4 s2 ^摘要 8 o9 C3 C- o' c U) z
铜及铜合金表面精细蚀刻技术,经清洗烘干和覆盖(如印刷)所需图案后,采用能够对铜及铜合金的各种成分和各种金相组织具有均匀稳定腐蚀效力的2~4份容积磷酸、5~7份容积醋酸和0.5~1.5份容积无机强酸(如硝酸)的混合液作为腐蚀剂,可大大提高图案蚀刻精度,实现精细蚀刻。
' [! K S/ |. j+ D w4 c( y: K主权项 9 _' N0 ?0 ?( K4 P2 N
铜及铜合金表面精细蚀刻技术,由以下步骤组成:a.光整、清洗和烘干被蚀件表面,b.在被蚀件表面制作可防腐蚀的图案,c.在10~60÷度下用腐蚀剂腐蚀0.2~5分钟,d.表面光整和防腐处理:其特征在于:所用的腐蚀剂为2~4份容积磷酸、5~7份容积醋酸和0.5~1.5份容积无机强酸的混合液。 |
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